[发明专利]MFS型场效应晶体管及其制造方法、强电介质存储器及半导体装置无效
申请号: | 200510067657.0 | 申请日: | 2005-04-25 |
公开(公告)号: | CN1691352A | 公开(公告)日: | 2005-11-02 |
发明(设计)人: | 木岛健;滨田泰彰 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L27/10 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李香兰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | mfs 场效应 晶体管 及其 制造 方法 电介质 存储器 半导体 装置 | ||
【权利要求书】:
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