[发明专利]阻挡层抛光溶液有效
| 申请号： | 200510067350.0 | 申请日： | 2005-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1696235A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 刘振东;J·匡西;R·E·施密特;T·M·托马斯 | 申请（专利权）人： | CMP罗姆和哈斯电子材料控股公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 范征 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阻挡 抛光 溶液 | ||
【权利要求书】：
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