[发明专利]成像方法无效
| 申请号： | 200510064149.7 | 申请日： | 2005-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN1693938A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | R·K·巴尔;J·T·法西;C·奥科诺;J·G·谢尔诺特 | 申请（专利权）人： | 罗姆及海斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/18 | 分类号： | G02B27/18;G03F7/20;G03C1/73 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈剑华 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 搜索关键词： | 成像 方法 | ||
【权利要求书】：
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