[发明专利]半导体可饱和吸收镜及其制作方法无效
申请号: | 200510056277.7 | 申请日: | 2005-04-04 |
公开(公告)号: | CN1848561A | 公开(公告)日: | 2006-10-18 |
发明(设计)人: | 王翠鸾;王勇刚;林涛;王俊;郑凯;冯小明;仲莉;马杰慧;马骁宇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S3/098 | 分类号: | H01S3/098 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 饱和 吸收 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】:
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