[发明专利]抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 200510055829.2 | 申请日： | 2005-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN1670628A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 松田洋和;堀口明;大谷浩司;高桥一史 | 申请（专利权）人： | 大赛璐化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D7/26 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 张平元;赵仁临 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 | ||
【说明书】：
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