[发明专利]微波等离子体增强弧辉渗镀涂层的装置及工艺无效
| 申请号： | 200510048154.9 | 申请日： | 2005-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN1775997A | 公开（公告）日： | 2006-05-24 |
| 发明（设计）人： | 贺琦;潘俊德;徐重 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司 | 代理人： | 庞建英 |
| 地址： | 030024山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 增强 弧辉渗镀 涂层 装置 工艺 | ||
【权利要求书】：
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