[发明专利]一种随机响应信号测量与分析的方法无效
| 申请号： | 200510029686.8 | 申请日： | 2005-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN1740800A | 公开（公告）日： | 2006-03-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡良斌;严天宏;张国韦;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201203上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 随机 响应 信号 测量 分析 方法 | ||
【权利要求书】：
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