[发明专利]多功能复合磁控等离子体溅射装置有效
| 申请号： | 200510028705.5 | 申请日： | 2005-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN1718849A | 公开（公告）日： | 2006-01-11 |
| 发明（设计）人： | 孙卓 | 申请（专利权）人： | 孙卓 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海三方专利事务所 | 代理人： | 吴干权 |
| 地址： | 200062上海市中*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多功能 复合 等离子体 溅射 装置 | ||
【说明书】：
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