[发明专利]六自由度精密定位工作台无效
| 申请号： | 200510024300.4 | 申请日： | 2005-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN1669744A | 公开（公告）日： | 2005-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王勇;刘志刚;薄锋;朱健强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B25H1/02 | 分类号： | B25H1/02;G12B5/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自由度 精密 定位 工作台 | ||
【说明书】：
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