[发明专利]使用FINFET技术形成多种器件宽度的方法和结构有效
| 申请号： | 200510005802.2 | 申请日： | 2005-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN1694262A | 公开（公告）日： | 2005-11-09 |
| 发明（设计）人： | 布伦特·A.·安德森;爱德华·J.·诺瓦克;杰德·H.·兰金 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L27/02;H01L21/336;H01L21/822 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 付建军 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 finfet 技术 形成 多种 器件 宽度 方法 结构 | ||
【说明书】：
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