[发明专利]连续热处理炉中的板状被热处理物的搬运装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种在连续热处理炉中，例如对诸如太阳电池晶片那样的轻的、薄的基板等板状被热处理物进行搬运的搬运装置。 

背景技术

如专利文献1或专利文献2所示，公知目前的这种搬运装置具有：一对固定绳索，其在前后方向上贯通炉内且相互平行地延伸，被热处理物能横跨着放置在固定绳索上；一对可动绳索，其在两条固定绳索的外侧或内侧与之平行地延伸，被热处理物能横跨着放置在可动绳索上；移动机构，其使两条可动绳索进行移动动作，以使得放置在两条可动绳索上的被热处理物前进；以及螺旋弹簧，其使张力作用于两条固定和可动绳索上。 

在目前的装置中，随着移动动作的产生，可动绳索会发生摇摆。绳索的摇摆在移动动作中，上下移动时容易发生。当利用一对可动绳索进行上下和前后移动时，在上下移动中产生的摇摆会就那样地延续到紧接着进行的前后移动中，从而不能使被热处理物停止在前后方向的正确位置，于是停止位置发生偏移。 

并且，由于通过弹簧使绳索上有张力作用，所以在绳索伸长的情况下，绳索的张力会发生变化。 

专利文献1：日本特开平10-148473号公报； 

专利文献2：日本实开平4-67994号公报。 

发明内容

本发明的目的是，提供一种减少被热处理物的停止位置的偏移、能够进行稳定的搬运、并且不使绳索的张力发生变化的连续热处理 炉中的板状被热处理物的搬运装置。 

本发明的连续热处理炉中的板状被热处理物的搬运装置，具有：一对前后移动绳索，其在前后方向贯通炉内且相互平行地延伸，被热处理物能横跨着放置在该前后移动绳索上；一对上下移动绳索，其在两条前后移动绳索的外侧或内侧与之平行地延伸，被热处理物能横跨着放置在该上下移动绳索上；前后移动机构，其使两条前后移动绳索在一定的高度前后移动；以及上下移动机构，其使两条上下移动绳索与前后移动绳索的高度交叉地进行上下移动； 

前后移动机构具有：两个或一个前后移动绳索张力调整用液压缸，其具有与各个前后移动绳索的一端相连接的活塞杆，并使张力单个地或一起地作用于两条前后移动绳索上；前后移动体，其安装于前后移动绳索张力调整用液压缸，并与两条前后移动绳索的另一端相连接；多个滑轮，其上卷挂各前后移动绳索，以便在使张力作用于各前后移动绳索的状态下能够使各前后移动绳索在其长度方向上移动；和驱动前后移动体的单轴自动装置， 

上下移动机构具有：两个或一个上下移动绳索张力调整用液压缸，其具有与各个上下移动绳索的一端相连接的活塞杆，且被支承在固定位置，并使张力单个地或一起地作用于两条上下移动绳索上；和第一上下移动体及第二上下移动体，其隔着炉子配置在炉子的前后两侧，各上下移动绳索的另一端连接在第一上下移动体上，在第二上下移动体上安装有多个滑轮，在所述多个滑轮上卷挂着各上下移动绳索，以使张力作用于各上下移动绳索上，第一上下移动体及第二上下移动体由电动缸同步驱动。 

在本发明的连续热处理炉中的板状被热处理物的搬运装置中，为了进行前后移动和上下移动而分别使用绳索。因此，上下移动绳索的摇摆不传递到前后移动绳索上，前后移动时的绳索几乎不发生摇摆。因此，可防止被热处理物的停止位置发生偏移。 

而且，前后移动机构具有两个或一个用于使张力单个地或一起地作用于两条前后移动绳索上的前后移动绳索张力调整用液压缸；上下移动机构具有两个或一个用于使张力单个地或一起地作用于两条上下移动绳索上的上下移动绳索张力调整用液压缸，这样，即使前后移动绳索和上下移动绳索伸长，其伸长也被液压缸吸收。因此能够防止绳索的张力变化。 

当两条前后移动绳索没有伸长差时，前后移动绳索张力调整用 液压缸的数量为一个即可，当有该伸长差时，则形成两个前后移动绳索张力调整用液压缸。同样地，根据两条上下移动绳索是否有伸长差来选择前上下移动绳索张力调整用液压缸的数量。 

并且，两个前后移动绳索张力调整用液压缸具有连接了各个前后移动绳索的一端的活塞杆，且安装在前后移动体上，两条前后移动绳索的另一端与前后移动体连接，将各前后移动绳索卷挂在滑轮上，以便在使张力作用于各前后移动绳索的状态下能够使各前后移动绳索在其长度方向上移动，前后移动体由前后驱动用单轴自动装置驱动，这样，通过改变前后驱动用单轴自动装置的滑动件动作行程，能够简单地改变绳索的前后移动行程。通过这样，也能够应对长行程的间歇式输送。