[发明专利]吸盘系统、使用该吸盘系统的光刻装置和器件制造方法无效
| 申请号： | 200480038919.4 | 申请日： | 2004-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN1898611A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | P·史密特斯;P·J·C·H·斯穆尔德斯;K·J·J·M·扎尔;H·H·M·科西;J·J·奥坦斯;N·J·吉利森;J·斯塔里弗尔德 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00;H02N13/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 肖春京 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 吸盘 系统 使用 光刻 装置 器件 制造 方法 | ||
【说明书】：
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