[发明专利]用于光学元件的更换设备有效
| 申请号： | 200480038897.1 | 申请日： | 2004-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN1898610A | 公开（公告）日： | 2007-01-17 |
| 发明（设计）人： | J·库格勒;F·索尔格;A·乌尔姆布兰德;T·伊特纳;T·施勒特雷尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B13/14;G02B7/02;G02B7/14;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范晓斌;杨松龄 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光学 元件 更换 设备 | ||
【权利要求书】：
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