[发明专利]用于对一等离子体处理系统进行工具匹配及故障查找的方法有效
| 申请号： | 200480037347.8 | 申请日： | 2004-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN1894590A | 公开（公告）日： | 2007-01-10 |
| 发明（设计）人： | 赛义德·加法尔·加法利安－特黑兰尼;阿芒·阿沃扬 | 申请（专利权）人： | 蓝姆研究公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王允方;刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 系统 进行 工具 匹配 故障 查找 方法 | ||
【说明书】：
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