[发明专利]用于处理大面积矩形基板的高频等离子体反应器的电压非均匀性补偿方法有效
| 申请号： | 200480032865.0 | 申请日： | 2004-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1879189A | 公开（公告）日： | 2006-12-13 |
| 发明（设计）人： | J·施米特;L·桑松嫩斯;M·埃尔亚库比;M·伊尔日克 | 申请（专利权）人： | 尤纳克西斯巴尔策斯公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 杨凯;陈景峻 |
| 地址： | 列支敦士*** | 国省代码： | 列支敦士登;LI |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 处理 大面积 矩形 高频 等离子体 反应器 电压 均匀 补偿 方法 | ||
【说明书】：
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