[发明专利]光致抗蚀剂剥离用组合物及剥离光致抗蚀剂的方法无效
| 申请号： | 200480032334.1 | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1875326A | 公开（公告）日： | 2006-12-06 |
| 发明（设计）人： | 西岛佳孝;松本昌岳;安江秀国;武井瑞树 | 申请（专利权）人： | 长濑化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 组合 方法 | ||
【说明书】：
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