[发明专利]用于无电沉积的装置无效
| 申请号： | 200480030052.8 | 申请日： | 2004-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN1922344A | 公开（公告）日： | 2007-02-28 |
| 发明（设计）人： | 德米特里·鲁博弥尔斯克;阿拉库玛·山姆戈萨卓姆;伊恩·A·帕查姆;瑟戈伊·洛帕汀 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C23C18/16;H01L21/288 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 装置 | ||
【权利要求书】：
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