[发明专利]用于大面积衬底等离子体反应器的RF电流回路无效
| 申请号： | 200480021361.9 | 申请日： | 2004-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1826679A | 公开（公告）日： | 2006-08-30 |
| 发明（设计）人： | 文戴尔·博洛尼甘;厄恩斯特·凯勒;卡尔·索赖瑟恩 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 大面积 衬底 等离子体 反应器 rf 电流 回路 | ||
【权利要求书】：
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