[发明专利]图形的制作方法和液滴排出装置有效
| 申请号: | 200480018026.3 | 申请日: | 2004-04-15 |
| 公开(公告)号: | CN1812851A | 公开(公告)日: | 2006-08-02 |
| 发明(设计)人: | 前川慎志;山崎舜平 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号: | B05D1/26 | 分类号: | B05D1/26;B05D3/04;B05C5/00;B05C9/10;H01L21/027;H01L21/3205;H01L21/288;H01L21/30 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 浦柏明;梁永 |
| 地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 图形 制作方法 排出 装置 | ||
【说明书】:
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