[发明专利]再生用于蚀刻或酸蚀铜或铜合金的含铁蚀刻溶液的方法和进行所述方法的装置有效
| 申请号： | 200480015672.4 | 申请日： | 2004-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN1802456A | 公开（公告）日： | 2006-07-12 |
| 发明（设计）人： | 凯岩·马特耶特;万·兰木扑禾 | 申请（专利权）人： | 德国艾托科技公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23G1/36;C25C7/00;C25C1/12 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 再生 用于 蚀刻 酸蚀铜 铜合金 溶液 方法 进行 装置 | ||
【权利要求书】：
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