[发明专利]微细图形形成材料以及微细图形形成方法有效
| 申请号： | 200480015273.8 | 申请日： | 2004-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1799006A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 高桥清久;高野祐辅 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料（日本）株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/40 | 分类号： | G03F7/40;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微细 图形 形成 材料 以及 方法 | ||
【说明书】：
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