[发明专利]硅外延晶片以及生产硅外延晶片的方法无效
| 申请号： | 200480013251.8 | 申请日： | 2004-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN1791705A | 公开（公告）日： | 2006-06-21 |
| 发明（设计）人： | 吉田知佐;角田均;加藤正弘 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 郭广迅;邹雪梅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 外延 晶片 以及 生产 方法 | ||
【权利要求书】：
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