[发明专利]第Ⅲ族元素氮化物单晶的制备方法和其中使用的设备无效
申请号: | 200480007152.9 | 申请日: | 2004-03-15 |
公开(公告)号: | CN1798881A | 公开(公告)日: | 2006-07-05 |
发明(设计)人: | 佐佐木孝友;森勇介;吉村政志;川村史朗;梅田英和 | 申请(专利权)人: | 财团法人大阪产业振兴机构 |
主分类号: | C30B29/38 | 分类号: | C30B29/38;C30B11/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 于辉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 元素 氮化物 制备 方法 其中 使用 设备 | ||
【说明书】:
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