[发明专利]光致抗蚀剂组合物用的溶解速率改性剂

权利要求书

1.一种溶解速率改性剂，其包括：

一种含有重复单元的低聚物，所述重复单元衍生于式A、B、C、D和/或E中的一种或多种单体：

   式A                                     式B

式C

式D

式E

所述重复单元包括衍生于单体的第一重复单元及任选的其他重复单元，所述第一重复单元的单体包括式A和/或式E的氟化酸不稳定基团取代基，所述其他重复单元的单体包括式A、B、C、D或E中的一种或多种，条件是如果式A的单体不存在，那么必须包括式E的单体，如果存在式D或E的单体，那么必须存在至少一种式A、B或C的单体，条件是如果至少一种重复单元衍生于式D或E，那么包括使用自由基催化剂得到低聚物，如果所述重复单元仅衍生于式A、B和/或C的单体，那么包括使用含Ni或Pd的催化剂得到低聚物；

其中m是0～5的整数；Z是-CH₂-、-CH₂-CH₂-、-O-、-S-或-NH-，其中R¹、R²、R³、R⁴中的至少一种取代基独立地是具有1～约10个碳原子并任选地被酸不稳定基团保护的氟化甲醇；其余R¹、R²、R³、R⁴独立地是氢、卤素、或含有1～约20个碳原子的烃基、或具有1～约20个碳原子并在任何氢原子处被O、S、N或Si取代的烃基、或具有1～约20个碳原子的氟化烃基，其中每个碳原子独立地被0、1、2或3个氟原子取代；其中R⁵、R⁶、R⁷或R⁸中的至少一种独立地含有酸不稳定部分，其余一种或多种R⁵、R⁶、R⁷或R⁸独立地是氢、卤素、或具有1～约20个碳原子的烃基、或具有1～约20个碳原子并在任何氢原子处被O、S、N或Si取代的烃基、或具有1～约20个碳原子的氟化烃基，其中每个碳原子独立地被0、1、2或3个氟原子所取代；其中R⁹、R¹⁰、R¹¹或R¹²独立地选自氢原子、具有1～约20个碳原子的烃基、具有1～约20个碳原子在任何氢原子处被O、S、N或Si取代并任选地含有环氧基、羟基、和/或羧酸官能团的烃基；其中Y是具有1～约10个碳原子并任选地被酸不稳定基团保护的氟化甲醇，X是OH、CN、OC(O)R¹³、C(O)OR¹³、OR¹³、N(R¹³)₂，其中R¹³是含有1～约12个碳原子的直链或支链或环脂族烃基，任选地所述烃基的至少一个碳原子含有1、2或3个氟原子；通过凝胶渗透色谱法测量的所述低聚物的重均分子量(Mw)小于约3,000。

2.如权利要求1所述的溶解速率改性剂，其中Y、R¹、R²、R³或R⁴中的至少一种是式-((CH₂)_nO)_n’-CH₂-C(OR’)(CF₃)₂的氟化基团，其中R’是H或酸不稳定基团，n和n’独立地是0～10。

3.如权利要求2所述的溶解速率改性剂，其中所述酸不稳定基团选自-CH₂OCH₃、-CH₂OCH₂CH₃、-C(CH₃)₃、-Si(CH₃)₃、-CH₂COO(t-Bu)、2-甲基降冰片基、2-甲基异冰片基、2-甲基-2-金刚烷基、四氢呋喃基、四氢吡喃基、3-氧代环己酰基、甲羟戊酸内酯基、二环丙基甲基或二甲基环丙基甲基及其组合。