[实用新型]柔性平板波压差式微流量传感器无效
| 申请号： | 200420012709.5 | 申请日： | 2004-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN2752730Y | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 贾宏光;吴一辉;胡友旺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01F1/34 | 分类号： | G01F1/34 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 平板 波压差 式微 流量传感器 | ||
【说明书】：
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