[实用新型]一种圆柱面光栅光刻刻划机无效
| 申请号： | 200420011463.X | 申请日： | 2004-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN2676244Y | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 陈贇;朱应时 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱面 光栅 光刻 刻划 | ||
【权利要求书】：
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