[发明专利]浆料成分及利用其的CMP方法无效
| 申请号： | 200410101122.6 | 申请日： | 2004-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1637102A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 崔在光;李在东;洪昌基 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09G1/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 林宇清;谢丽娜 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 浆料 成分 利用 cmp 方法 | ||
【说明书】：
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