[发明专利]驱动连接机构及具有该驱动连接机构的真空机械手有效
申请号: | 200410100143.6 | 申请日: | 2004-12-02 |
公开(公告)号: | CN1623743A | 公开(公告)日: | 2005-06-08 |
发明(设计)人: | 矢泽隆之;中岛弘登;竹内靖典 | 申请(专利权)人: | 株式会社三协精机制作所 |
主分类号: | B25J17/00 | 分类号: | B25J17/00;B25J9/06;B65G49/07;H01L21/68 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 谢喜堂 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 驱动 连接 机构 具有 真空 机械手 | ||
【说明书】:
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