[发明专利]带有环状缩酮保护基的含硅光刻胶体系无效
| 申请号： | 200410090474.6 | 申请日： | 2004-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN1619420A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 黄武松;M·安耶洛普洛斯;R·苏里亚库马兰;R·W·孔;R·D·艾伦 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 带有 环状 缩酮 保护 光刻 胶体 | ||
【权利要求书】：
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