[发明专利]用于原子力显微镜的同轴照明显微镜光学系统无效
| 申请号： | 200410084619.1 | 申请日： | 2004-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1779436A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 吉小明;徐文东 | 申请（专利权）人： | 上海爱建纳米科技发展有限公司;中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01N13/16 | 分类号： | G01N13/16;B81B7/02;B81B5/00 |
| 代理公司： | 上海开祺知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李兰英 |
| 地址： | 200041上海市武定路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 原子 显微镜 同轴 照明 光学系统 | ||
【说明书】：
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