[发明专利]柱状喷洒显影和雾状喷洒显影互换的显影装置有效
| 申请号： | 200410082838.6 | 申请日： | 2004-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1782887A | 公开（公告）日： | 2006-06-07 |
| 发明（设计）人： | 王绍勇 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源先进半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/26 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柱状 喷洒 显影 雾状 互换 装置 | ||
【说明书】：
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