[发明专利]用于浸没式光刻的液体组合物及光刻法无效
| 申请号： | 200410081983.2 | 申请日： | 2004-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN1700096A | 公开（公告）日： | 2005-11-23 |
| 发明（设计）人： | 孔根圭;金炯崙;金炯秀;郑载昌;李晟求 | 申请（专利权）人： | 海力士半导体有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 封新琴;巫肖南 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 浸没 光刻 液体 组合 | ||
【说明书】：
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