[发明专利]测量非共面电极激光器芯片的高频测试夹具无效
| 申请号： | 200410081183.0 | 申请日： | 2004-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1760687A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 陈诚;祝宁华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 非共面 电极 激光器 芯片 高频 测试 夹具 | ||
【说明书】：
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