[发明专利]光学可调滤光器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200410079178.6 申请日: 2004-09-15
公开(公告)号: CN101051096A 公开(公告)日: 2007-10-10
发明(设计)人: 村田昭浩;中村亮介;纸透真一 申请(专利权)人: 精工爱普生株式会社
主分类号: G02B5/28 分类号: G02B5/28;G02B1/10
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 宋合成
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 光学 可调 滤光 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种光学可调滤光器,包括:

具有光传输特性的第一衬底,所述第一衬底包括可动部分,所述可动部分具有第一表面和与第一表面相对的第二表面;

具有光传输特性的第二衬底,所述第二衬底设置为面对第一衬底,第二衬底具有面对可动部分的所述第一表面的第一表面以及与第二衬底的第一表面相对的第二表面,其中第二衬底的第一表面形成有第一凹部和第二凹部,第一凹部的底部与可动部分的第一表面之间设有第一间隙,第二凹部被形成为比第一凹部深并且同心地形成在第一凹部中,在第二凹部的底部与可动部分的第一表面之间设有第二间隙;其中,所述第二衬底的全部采用相同的材料制成,并且所述第一凹部和第二凹部采用蚀刻的方法形成,以及在平面视图中,所述第一凹部和第二凹部的每一个都形成大致圆形,

第一反射膜,所述第一反射膜设置在可动部分的第一表面上;

第二反射膜,所述第二反射膜设置在第二凹部的底部上;

干涉部分,所述干涉部分通过改变第二间隙的距离引起第一反射膜和第二反射膜之间的入射光的干涉;以及

驱动部分,用于通过改变第一间隙的距离而相对于第二衬底移动可动部分,从而改变第二间隙的距离,所述第一衬底包括所述可动部分、围绕可动部分并且与可动部分间隔预定间距的电流运载部分以及设置在可动部分与电流运载部分之间的支撑部分,所述支撑部分用于将可动部分连接至电流运载部分并且用于相对于电流运载部分弹性地支撑可动部分,所述电流运载部分适于通过支撑部分将电流提供至可动部分,其中可动部分、支撑部分和电流运载部分通过蚀刻方法由相同的材料一体形成,使得电流运载部分和可动部分具有大致相同的厚度;

在第一凹部的上表面上设置有驱动电极(23),驱动电极(23)以片或膜的形式与第二衬底上的导电层(231)连接;驱动电极(23)、第一间隙(21)和可动部分(31)的外周部分构成由库仑力驱动的驱动部分的主要部分。

2.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:驱动部分被构造用来利用库仑力移动可动部分。

3.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:第二衬底具有驱动电极,所述驱动电极被设置在第一凹部的底部上。

4.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:第一衬底由硅制成。

5.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:所述可动部分在平面视图中具有大体圆形的形状。

6.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:第二衬底由玻璃制成。

7.根据权利要求6所述的光学可调滤光器,其特征在于:所述玻璃包含碱金属。

8.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:第一反射膜和第二反射膜中的每一个由多层膜形成。

9.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:第一反射膜具有绝缘特性。

10.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:抗反射膜设置在可动部分的第二表面和第二衬底的第二表面中的至少一个上。

11.根据权利要求10所述的光学可调滤光器,其特征在于:所述抗反射膜由多层膜形成.

12.根据权利要求1所述的光学可调滤光器,其特征在于:第二衬底包括光传输部分,光通过该光传输部分进入和/或从该光传输部分发出,所述光传输部分设置在第二衬底的第二表面上。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于精工爱普生株式会社,未经精工爱普生株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200410079178.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top