[发明专利]多层结构键合密封保护式电容压力传感器及制造方法无效
| 申请号： | 200410078387.9 | 申请日： | 2004-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN1587939A | 公开（公告）日： | 2005-03-02 |
| 发明（设计）人： | 冯勇建 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | G01L9/12 | 分类号： | G01L9/12 |
| 代理公司： | 厦门南强之路专利事务所 | 代理人： | 马应森 |
| 地址： | 361005福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 结构 密封 保护 电容 压力传感器 制造 方法 | ||
【说明书】：
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