[发明专利]响应意外事件从移动式传送带自动退回的晶片装载装置有效
| 申请号： | 200410075768.1 | 申请日： | 2004-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1683223A | 公开（公告）日： | 2005-10-19 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·R·赖斯;埃里克·A·恩格尔哈德特;罗伯特·B·劳伦斯;马丁·R·埃里奥特;杰弗里·C·赫金斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/05 | 分类号： | B65G49/05;B65G43/00;H01L21/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 寇英杰 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 响应 意外 事件 移动式 传送带 自动 退回 晶片 装载 装置 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料有限公司，未经应用材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200410075768.1/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
