[发明专利]使用螺旋自谐振线圈的电离物理汽相沉积装置无效
| 申请号： | 200410068244.X | 申请日： | 2004-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN1619011A | 公开（公告）日： | 2005-05-25 |
| 发明（设计）人： | 尤里·N·托尔马切夫;马东俊;瑟格里·Y·纳瓦拉;金大一 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/32;H01L21/203 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平;杨梧 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 使用 螺旋 谐振 线圈 电离 物理 沉积 装置 | ||
【说明书】：
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