[发明专利]微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法无效
| 申请号： | 200410068036.X | 申请日： | 2004-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN1631776A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 沈荷生;欧阳斯可;戴永兵;汪涛;何贤昶 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C01B33/06 | 分类号： | C01B33/06;H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 王锡麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微波 等离子体 制备 金属硅 薄膜 方法 | ||
【说明书】：
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