[发明专利]软磁多层膜力敏传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 200410067583.6 | 申请日： | 2004-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN1603765A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 周勇;陈吉安;丁文;张亚民;高孝裕 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/12 | 分类号： | G01L1/12;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 毛翠莹 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 膜力敏 传感器 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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