[发明专利]平行平面研磨机无效
| 申请号： | 200410066300.6 | 申请日： | 2004-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN1745970A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 卢建伟;石塚阳一;铃木淳平 | 申请（专利权）人： | 卢建伟 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 吴林松 |
| 地址： | 200435上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 平行 平面 研磨机 | ||
【权利要求书】：
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