[发明专利]一种薄膜微桥结构及其制作方法无效
| 申请号： | 200410061385.9 | 申请日： | 2004-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN1623887A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 黄光;王宏臣;陈四海;何少伟;付小朝;易新建;马宏 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;G01J5/20 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 结构 及其 制作方法 | ||
【说明书】：
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