[发明专利]半导体装置有效
| 申请号: | 200410044704.5 | 申请日: | 2004-05-17 |
| 公开(公告)号: | CN1551373A | 公开(公告)日: | 2004-12-01 |
| 发明(设计)人: | 村田智洋;广濑裕;池田义人;田中毅;井上薰;上田大助;上本康裕 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号: | H01L29/812 | 分类号: | H01L29/812;H01L21/338;H01L33/00;H01S5/30 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汪惠民 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【说明书】:
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