[发明专利]纳米二氧化硅的化学气相沉积制备方法无效
申请号: | 200410041264.8 | 申请日: | 2004-06-10 |
公开(公告)号: | CN1590292A | 公开(公告)日: | 2005-03-09 |
发明(设计)人: | 文建湘;陈明清;刘晓亚;杨成;倪忠兵 | 申请(专利权)人: | 江南大学 |
主分类号: | C01B33/113 | 分类号: | C01B33/113;C01B33/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 纳米 二氧化硅 化学 沉积 制备 方法 | ||
【权利要求书】:
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