[发明专利]光纤定位槽、光斑转换器和光波导器件的一体化制作方法无效
| 申请号： | 200410035032.1 | 申请日： | 2004-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN1690747A | 公开（公告）日： | 2005-11-02 |
| 发明（设计）人： | 杨笛;余金中;陈少武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/10;G03F7/20;H04B10/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光纤 定位 光斑 转换器 波导 器件 一体化 制作方法 | ||
【说明书】：
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