[发明专利]光刻设备、装置制造方法和计算机程序有效
| 申请号： | 200410032532.X | 申请日： | 2004-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN1536445A | 公开（公告）日： | 2004-10-13 |
| 发明（设计）人： | J·A·A·T·达姆斯;R·E·M·L·德威德特 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;G06F17/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 装置 制造 方法 计算机 程序 | ||
【说明书】：
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