[发明专利]掩埋有高反射率布拉格反射镜的基片键合方法无效
| 申请号: | 200410030277.5 | 申请日: | 2004-03-23 |
| 公开(公告)号: | CN1674374A | 公开(公告)日: | 2005-09-28 |
| 发明(设计)人: | 毛容伟;滕学公;王启明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号: | H01S5/10 | 分类号: | H01S5/10;H01L21/00 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平 |
| 地址: | 100083北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 掩埋 反射率 布拉格 反射 基片键合 方法 | ||
【说明书】:
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