[发明专利]激光直接刻蚀制作软边光阑的方法无效
| 申请号: | 200410018160.5 | 申请日: | 2004-05-09 |
| 公开(公告)号: | CN1569380A | 公开(公告)日: | 2005-01-26 |
| 发明(设计)人: | 凌磊;楼祺洪;漆云凤;叶震寰;董景星 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号: | B23K26/00 | 分类号: | B23K26/00;G03B9/02 |
| 代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人: | 张泽纯 |
| 地址: | 201800上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光 直接 刻蚀 制作 光阑 方法 | ||
【说明书】:
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