[发明专利]采用多层驱动膜结构的微驱动器及其制作方法无效
| 申请号： | 200410013779.7 | 申请日： | 2004-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN1583541A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 邱成军;曹茂盛 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工程大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;F15B15/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市船大专利事务所 | 代理人： | 张贵丰 |
| 地址： | 150001黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 采用 多层 驱动 膜结构 驱动器 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工程大学，未经哈尔滨工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200410013779.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
