[发明专利]辉光离子氮化炉真空炉体压力闭环自动控制装置有效
| 申请号： | 200410013266.6 | 申请日： | 2004-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN1584100A | 公开（公告）日： | 2005-02-23 |
| 发明（设计）人： | 黄健 | 申请（专利权）人： | 黄健 |
| 主分类号： | C23C8/36 | 分类号： | C23C8/36 |
| 代理公司： | 武汉开元专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈家安;程启祥 |
| 地址： | 430040湖北省武汉市东西湖区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辉光 离子 氮化 真空炉 压力 闭环 自动控制 装置 | ||
【权利要求书】：
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