[发明专利]铜或铜合金的蚀刻溶液以及使用该溶液的电子基板的制法无效
| 申请号: | 200410006062.X | 申请日: | 2004-02-27 |
| 公开(公告)号: | CN1570212A | 公开(公告)日: | 2005-01-26 |
| 发明(设计)人: | 户田健次 | 申请(专利权)人: | 美格株式会社 |
| 主分类号: | C23F1/18 | 分类号: | C23F1/18;H05K3/06 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人: | 戈泊;程伟 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 铜合金 蚀刻 溶液 以及 使用 电子 制法 | ||
【权利要求书】:
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